SJ/T 11507-2015 集成電路用氧化層緩沖腐蝕液

范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了集成電路用氧化層緩沖腐蝕液的術(shù)語、性狀、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和包裝、標(biāo)志、儲(chǔ)存、運(yùn)輸?shù)取?br />本標(biāo)準(zhǔn)適用于集成電路用氧化層緩沖腐蝕液。
本標(biāo)準(zhǔn)不涉及使用安全性問題。本標(biāo)準(zhǔn)的使用人應(yīng)負(fù)責(zé)建立適當(dāng)?shù)陌踩】禇l款及使用范圍的限制。

術(shù)語和定義
超純硝酸 ultrapure nitric acid
金屬離子含量不大于1μg/L的硝酸。

性狀和技術(shù)要求
性狀
本腐蝕液為無色透明液體，呈酸性，是氟化銨與氫氟酸按一定比例混合的緩沖溶液，氟化銨含量允許偏差為±0.4%，氫氟酸含量允許偏差為±0.25%。
技術(shù)要求
氧化層緩沖腐蝕液的技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定:






試驗(yàn)方法
氟化銨和氫氟酸含量的測定
試驗(yàn)儀器
自動(dòng)電位滴定儀: 配置氟離子選擇性電極和參比電極。

試劑:
甲醛: 40%。
中性甲醛溶液: 量取20mL甲醛溶液，加20mL水，加2滴酚酞指示劑，用氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液滴定至溶液呈粉紅色。使用前制備。
氫氧化鈉溶液: 0.1mol/L。
氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液: c(NaOH)=1mol/L。
酚酞指示劑: 10g/L。

滴定法(仲裁方法)
氫氟酸(HF)含量測定
稱取適量(精確至0.0001g)樣品于已注入10mL純水的帶蓋的塑料燒杯中，加50mL純水及2滴酚酞指示劑，用氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液滴定至溶液微粉紅色，保持30s不褪色。隨樣做空白試驗(yàn)。
HF含量以質(zhì)量分?jǐn)?shù)a計(jì)，數(shù)值以百分含量(%)表示，按式(1)計(jì)算:

式中:
V₁ 一一樣品消耗氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積的數(shù)值，單位為毫升(mL)；
V₀₁一一空白消耗氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積的數(shù)值，單位為毫升(mL)；
c   一一氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液濃度的準(zhǔn)確數(shù)值，單位為摩爾每升(mol/L)；
0.02001一一與1mL氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液相當(dāng)?shù)囊钥吮硎镜臍浞岬馁|(zhì)量，單位為克每毫升(g/mL)；
m₁ 一一試樣質(zhì)量的數(shù)值，單位為克(g)。
兩次平行測定結(jié)果之差不大于0.1%，取其算術(shù)平均值為測定結(jié)果。
氟化銨(NH₄F)含量測定
稱取適量(精確至0.0001g)樣品于已注入10mL純水的帶蓋的塑料杯中，加40mL中性甲醛溶液，搖勻，靜置30min，用氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液滴定至粉紅色，保持30s不褪色。隨樣做空白試驗(yàn)。
NH₄F含量以質(zhì)量分?jǐn)?shù)b計(jì)，數(shù)值以百分含量(%)表示，按式(2)計(jì)算:

式中:
a   一一氫氟酸質(zhì)量分散，百分含量(%)；
V₂ 一一樣品消耗氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積的數(shù)值，單位為毫升(mL)；
V₀₂一一空白消耗氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的體積的數(shù)值，單位為毫升(mL)；
c    一一氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液濃度的準(zhǔn)確數(shù)值，單位為摩爾每升(mol/L)；
0.02001一一與1mL氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液相當(dāng)?shù)囊钥吮硎镜臍浞岬馁|(zhì)量，單位為克每毫升(g/mL)；
m₂   一一試樣質(zhì)量的數(shù)值，單位為克(g)；
1.85一一換算系數(shù)，無單位。
兩次平行測定結(jié)果之差不大于0.1%，取其算術(shù)平均值為測定結(jié)果。

自動(dòng)電位滴定法
操作步驟
稱取適量樣品于滴定杯中，精確至0.0001g，加入40mL純水，按照自動(dòng)電位滴定儀操作規(guī)程測定氫氟酸和氟化銨含量。
兩次平行測定結(jié)果相對偏差不大于0.5%，取其算術(shù)平均值為測定結(jié)果。


京都電子KEM 自動(dòng)電位滴定儀 AT-710S