T/ICMtia 4.1-2020 集成電路用氟化氬光刻膠單體 第1部分 液體甲基丙烯酸酯類(lèi)

范圍
本文件規(guī)定了集成電路用氟化氬光刻膠單體第1部分液體甲基丙烯酸酯類(lèi)的術(shù)語(yǔ)和定義、產(chǎn)品類(lèi)型和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、技術(shù)要求、分析檢測(cè)方法、工藝要求、包裝、貯存和運(yùn)輸?shù)纫蟆?br style="padding: 0px; margin: 0px;"/>本文件適用于由有機(jī)原料、溶劑、適宜阻聚劑等組分合成經(jīng)精制后可適用于氟化氬樹(shù)脂制備用的單體。

術(shù)語(yǔ)和定義
下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。
氟化氬光刻膠
是指在氟化氬準(zhǔn)分子激光器為曝光光源(波長(zhǎng)193nm)的條件下，具有良好的光學(xué)透明性、較低的吸收、較高的熱穩(wěn)定性、較高的抗蝕刻性能的光刻膠。
光刻膠單體
是合成光刻膠樹(shù)脂的前體物，其質(zhì)量情況決定著成膜樹(shù)脂的性能。
甲基丙烯酸酯類(lèi)光刻膠單體
是指結(jié)構(gòu)中均含有甲基丙烯酸酯基團(tuán)的一類(lèi)光刻膠單體。
氣相色譜法
氣液色譜法，又稱氣相層析。是一種在有機(jī)化學(xué)中對(duì)易于揮發(fā)而不發(fā)生分解的化合物進(jìn)行分離與分析的色譜技術(shù)。
高效液相色譜法
高效液相色譜是以液體為流動(dòng)相，采用高壓輸液系統(tǒng)，將具有不同極性的單一溶劑或不同比例的混合溶劑、緩沖液等流動(dòng)相泵入裝有固定相的色譜柱，在柱內(nèi)各成分被分離后，進(jìn)入檢測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)試樣的分析。
凝膠滲透色譜法
也稱為體積排除色譜、是一種液體(液相)色譜。是利用高分子溶液通過(guò)填充有特種凝膠的柱子，把聚合物分子按照尺寸大小進(jìn)行分離的方法。
高聚物
高聚物是由一種或幾種簡(jiǎn)單低分子化合物經(jīng)聚合而組成的分子量很大的化合物，又稱高分子或大分子等。高分子化合物中分子所含的原子數(shù)可達(dá)數(shù)萬(wàn)，甚至數(shù)十萬(wàn)，而低分子化合物分子的原子數(shù)不過(guò)幾個(gè)，最多數(shù)百個(gè)。習(xí)慣上將分子量小于500的，稱為低分子化合物，分子量大于5000 的稱為高分子化合物。
低聚物
又稱寡聚物，舊稱齊聚物。指的是由較少的重復(fù)單元所組成的聚合物。其相對(duì)分子質(zhì)量介于小分子和高分子之間。一般出現(xiàn)在逐步聚合反應(yīng)的初期，此時(shí)眾多具有可相互反應(yīng)的官能團(tuán)(如羧酸和醇)的單體彼此互相反應(yīng)，生成了大量的二聚體、三聚體等，之后隨著反應(yīng)的繼續(xù)，二聚體與三聚體之間再逐步反應(yīng)生成高分子。
所用英文或字母縮寫(xiě)釋義
ppm  即百萬(wàn)分之一。
表達(dá)溶液濃度時(shí)，1ppm即為1μg/mL，表達(dá)固體中成分含量時(shí)，1ppm 即為1μg/g。
ppb  即十億分之一。
表達(dá)溶液濃度時(shí)，1ppb即為1×10^-3μg/mL，表達(dá)固體中成分含量時(shí)，1ppb即為1×10^-3μg/g。
NMP  N-甲基吡咯烷酮
IPA  異丙醇

產(chǎn)品類(lèi)型和結(jié)構(gòu)
性狀與結(jié)構(gòu)
本系列產(chǎn)品為無(wú)色透明液體，結(jié)構(gòu)中均含有甲基丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)在引發(fā)劑的作用下進(jìn)行聚合，從而形成甲基丙烯酸酯共聚物。
產(chǎn)品類(lèi)型


技術(shù)規(guī)格及指標(biāo)




分析檢測(cè)方法
水分
按 GB/T 6283 化工產(chǎn)品中水分含量的測(cè)定卡爾·費(fèi)休法(通用方法)的規(guī)定執(zhí)行。
GB/T 6283-2008 化工產(chǎn)品中水分含量的測(cè)定 卡爾·費(fèi)休法(通用方法)

酸值
按 GB/T 2895 塑料聚酯樹(shù)脂部分酸值和總酸值的測(cè)定執(zhí)行。
GB/T 2895-2008 塑料 聚酯樹(shù)脂 部分酸值和總酸值的測(cè)定


京都電子KEM 卡爾·費(fèi)休水分測(cè)定儀 MKV-710B
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